Universal-300FS是金沙js9线路中心面向行业前沿手艺需求，，，立异研发的一款集先进洗濯工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。。该装备搭载多样化先进洗濯手艺，，，配备性能优越的抛光单位，，，集成多种终点检测手艺，，，展现出更卓越的综合性能。。该装备可实现晶圆纳米级全局平展化，，，知足先进逻辑制程需求，，，普遍应用于集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺。。
单头搭配单盘抛光系统
8个自力气压分区的抛秃顶
集成多种实时检测手艺
搭载抛光垫智能修整手艺
适配竖直擦洗手艺和提拉干燥手艺，，，实现超清洁洗濯
知足先进制程需求