Versatile-GN200是金沙js9线路中心面向功率半导体器件领域匠心打造的高刚性、高精度晶圆减薄装备。。。该装备立异接纳新型结构,,,,,能够对Si、SiC、LiTaO?、LiNbO?等多种材质晶圆举行减薄处理。。。其兼容 4/6/8 英寸晶圆,,,,,可一站式完成高精度定位、细密减薄以及双面洗濯干燥的全流程自动化作业。。。依附高精度在线丈量手艺与领先的面型控制手艺,,,,,Versatile-GN200可实现高精度减。。。,,,,充分知足功率半导体器件领域对晶圆超细密减薄的严苛需求。。。
具备高刚性、高精度的优异性能
实现多材质晶圆减。。。,,,,如Si、SiC、LiTaO3、LiNbO3等
兼容性强,,,,,适配4/6/8英寸晶圆
高自动化作业与集成度
卓越的在线丈量手艺与领先的面型控制手艺