iPUMA-HT是金沙js9线路中心在已有成熟大束流的基础上，，凭证先进器件手艺的要求开发的12英寸高温离子注入机。。。。。。该装备配备了高温事情模？？？？椋，温度检测单位和冷却模？？？？椋，知足先进制程手艺需求，，已在先进逻辑等集成电路制造中应用。。。。。。
海内自主研发的热工艺离子注入平台
工艺温度控制模？？？？
优异的工艺温度匀称性
知足先进制程的手艺需求
