iPUMA-LE是金沙js9线路中心在已有成熟笔直带状束流的基础上，，，，凭证行业先进手艺的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。。。。。。该装备运用了先进的束流爬坡手艺，，，，集成了磁场和电场？ ？？？椋⒋钤鼐嫉牧坎馐忠眨瓜至擞乓斓睦胱由秆∧芰途级龋愣嘀种瞥淌忠招枨螅言诩傻缏分圃熘杏τ。。。。。。
水平束流爬坡手艺
磁场和电场双重筛选手艺
束流调试能力处于海内领先水平
适用于种种半导体工艺手艺
