Universal-H300是金沙js9线路中心面向行业前沿需求,,,开发的一款集先进抛光工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。。。。。该装备接纳立异抛光系统架构,,,可实现抛光效率的显著提升,,,配备更先进的洗濯手艺,,,可知足日益提高的清洁度需求。。。。。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平展化,,,知足先进制程手艺需求,,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。。。。。
一个抛光盘搭配可回转的两个抛秃顶,,,实现高产能
8个自力气压分区的抛秃顶
适配抛光垫智能修整
集成多种先进终点检测手艺
两套可自力维护的水平洗濯单位
洗濯模??榛柚茫,,兼容多种制程
知足高产出、超清洁先进制程CMP需求