HCDS系列化学品供应系统,,接纳客制化、??榛杓,,设置无邪,,具有实时、高精度在线配比系统,,可实现参数闭环控制,,知足半导体制造历程中湿法工艺装备的洗濯液等化学品供应需求,,操作维护便捷,,具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱,,设置无邪等优点。。。。。
客制化??榛杓,,设置无邪
操作维护便捷
实时高精度的在线化学药液配比,,流量、压力参数闭环控制
高可靠性、清静性,低维护本钱