Universal-200是凭证目今市场需求开发的成熟8英寸CMP装备。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺，，配备性能优越的抛光单位，，兼容4/6/8/英寸晶圆，，适用于多种材质，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，知足成熟制程手艺需求，，普遍应用于硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺。。。。
多分区抛秃顶
兼容4/6/8英寸晶圆
占地面积小、性价比高
知足成熟制程手艺需求
