Universal-300 Dual 是基于金沙js9线路中心自主知识产权立异手艺研发的成熟12英寸CMP装备。 。该装备配备多组性能优越的抛光单位及洗濯单位，，，，，，集成多种先进终点检测手艺，，，，，，优异的工艺可调性和稳固性，，，，，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，，，，，知足成熟制程手艺需求，，，，，，已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。
多分区抛秃顶
优异的工艺可调性和稳固性
可实现产品干进干出
知足成熟制程手艺需求
用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程