克日，，金沙js9线路中心（简称“金沙js9线路中心”，，股票代码：688120）自主研发的海内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX乐成获得先进封装领域主要客户订单，，将按妄想进入客户端产线投入量产应用。。。该装备是公司深化“装备+服务”平台化生长战略的又一突破，，将成为海内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备，，为我国先进封装以致半导体工业自主可控补齐要害一环。。。
随着人工智能、高性能盘算、5G通讯和物联网等前沿手艺生长，，芯片制造对集成度、功耗和本钱的要求持续攀升，，先进封装通过异构集成、短距互连成为延续摩尔定律、支持高端算力的要害手艺路径。。。板级封装是支持CoPoS、FOPLP及TGV互连等先进工艺的焦点制造载体，，依附其高产出效率与显著本钱竞争力，，正成为全球半导体工业结构的主要偏向之一。。。在这一工艺系统中，，产品尺寸从晶圆级大幅扩展至面板级，，多层再漫衍互连结构的全局平展化面临更严肃挑战。。。CMP工艺直接决议介质层与金属层的平展度、缺陷水平及界面质量，，是包管互连可靠性及最终芯片性能与良率的焦点环节。。。随着板级封装加速进入商业化阶段，，预计市场对高性能板级CMP量产装备的需求正迎来快速增添。。。
金沙js9线路中心此次推出的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX，，专为大尺寸板级封装严苛工艺需求设计，，能够知足板级封装产品的低缺陷抛光要求，，兼顾优异的全板面匀称性与平展化精度，，确保整板工艺一致性。。。装备集成先进的智能终点检测系统，，支持多种终点检测模式，，工艺切换无邪，，全自动运行稳固高效，，可充分知足先进封装客户对高精度、高一致性、高良率规 ；；坎男枨。。。
作为海内首台将进入客户端应用的全自动板级CMP装备，，该产品的推出将有力推动形成完整、自主的板级制造装备工业链生态。。。此次突破也是金沙js9线路中心CMP装备手艺从晶圆级向板级延伸的主要里程碑，，进一步牢靠了公司在高端半导体装备领域的综合优势。。。现在，，金沙js9线路中心已构建起笼罩CMP、减薄、离子注入、划切、边沿抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等要害环节的高端半导体装备与服务系统，，形成多元协同的产品矩阵。。。未来，，金沙js9线路中心将继续秉持“自强成绩卓越 立异塑造未来”的企业精神，，细密围绕工业前沿需求，，持续推出更多知足新应用、新工艺的高端半导体装备，，助力集成电路工业向更高水平跃升，，为半导体工业高质量可持续生长孝顺实力。。。