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金沙js9线路中心首台面向大硅片的8腔室12英寸单片洗濯机出机
2026年05月18日

  克日,,,,金沙js9线路中心(简称“金沙js9线路中心”,,,,股票代码:688120)首台面向大硅片制造领域的8腔室12英寸单片洗濯机正式出机,,,,发往海内该领域龙头企业。 。。这是金沙js9线路中心在湿法装备领域取得的又一主要效果,,,,将为大硅片制造提供高品质的洗濯装备与解决方案。 。。

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  该装备接纳堆叠式架构、?????榛峁,,,,在生产效率提升、工艺质量控制、节耗环保等方面举行了针对性设计,,,,系统性知足了大硅片制造对洗濯装备的焦点要求。 。。

  物理与化学洗濯深度连系兼具侵蚀与周全洗濯功效

  该装备实现了物理洗濯与化学洗濯的有机融合,,,,能够在一台装备内完成硅片外貌洗濯、化学侵蚀等多种工艺。 。。同时具备自力的侵蚀?????橛胂村?????,,,,实现湿法侵蚀与洗濯功效一体化且互不滋扰,,,,显著简化工艺流转,,,,提升制造良率与整线效率。 。。

  高产出与无邪扩展能力显著提升量产效能

  该装备基于金沙js9线路中心D38系列装备的平台化设计,,,,腔室数目可按需扩展,,,,能够在包管工艺效果的同时实现高产出,,,,精准契合大硅片制造的需求,,,,为规;;;;;圃齑闯浞值男拾堋 。。

  细密的工艺控制系统包管高清洁度与优异的匀称性

  该装备周全提升了工艺控制水平,,,,确保装备整体工艺一致性与可靠性。 。。先进的气流场设计可提供超净加工情形;;;;;高精度的温度、流量、运动控制等手艺,,,,可有用实现优异的侵蚀匀称性;;;;;精准的非工艺面;;;;;すπЭ捎杏米柚构杵巢亢捅哐氐墓ひ账鹕恕 。。

  高效的药液循环使用兼顾可靠性与节能降耗

  该装备具备高效率的药液接纳循环使用功效,,,,在大幅降低化学药液消耗与生产本钱的同时,,,,镌汰废液排放,,,,践行绿色制造理念,,,,将情形效益与运营效益统一于装备全生命周期。 。。

  得益于平台化、多功效集成、高清洁工艺与智能控制等焦点优势,,,,该装备不但可知足大硅片制造的洗濯需求,,,,还可应用于先进制程、先进封装、化合物半导体以及功率半导体等领域的洗濯工艺。 。。近年来,,,,金沙js9线路中心使用自身积累的手艺优势,,,,扎实推进湿法装备研发,,,,已先后推出多款具备完全自主知识产权的洗濯装备,,,,在大硅片领域和化合物半导体领域均获得优异的客户反馈与市场体现。 。。现在,,,,公司正起劲推进面向先进制程和先进封装等前沿领域的洗濯装备及成套解决方案,,,,进一步为工业升级提供坚实支持。 。。

  金沙js9线路中心已构建起笼罩化学机械抛光(CMP)、减薄、离子注入、划切、边沿抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等要害环节的高端半导体装备与服务系统,,,,形成多元协同的产品矩阵。 。。未来,,,,公司将继续秉持“客户导向 立异驱动 质量逾越”的焦点价值观,,,,加大研发投入,,,,为全球客户提供更多先进的高端装备与工艺成套解决方案,,,,为半导体工业高质量可持续生长孝顺实力。 。。



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